扫描电镜(SEM)主要规格和技术指标：
1. 加速电压：0.2 kV～30 kV；
2. 放大倍数：2 x～1000000 x。
主要功能及特色：
材料表面形貌分析。
X射线能谱仪(EDS)主要规格和技术指标：
分辨率 144eV 可检测元素 C～U。
主要特色功能：
成分分析。
仪器配件：
镀膜仪：样品喷金以增加导电性。
